化学品集中供液系统
JSLAB供液系统管道主要由阀门和管件组成。出于防腐性和输送安全性的考虑，供液管道一般采用双套管方式。并且，为了便于漏液的侦测，管道的铺设具有定倾斜角度，当溶液在内管道输送时内管泄漏，化学液就会顺着内外管之间的空隙流到供液柜，安装在供液柜体底部的漏液检测传感器就会监测到，从而发出报警以便及时处理，可以防止发生安全事故。
本系统采用PFA材质的气动隔膜阀和管件，由于PFA材料的杂质析出量极少，并且具有优良的化学稳定性。
1.控制系统
本系统由PLC进行控制，运行方式有两种模式:自动运行和手动运行。自动模式下，当供液系统接收到设备发出的供液需求信号后，自动运行供液程序，完成配液操作。手动模式下，可选择进行单步的手动操作。本系统还具有漏液侦测应急处理、系统故障诊断和溶液用量统计等功能。
可以持续稳定实现24小时不间断供应,双泵切换切换、双桶切换两套化学液输送管道,安全地输送化学品至工艺设备当工艺设备需要供液时给出信号，自动供液系统接收到需液信号控制程序自动打开泵电磁阀、气动阀电磁阀，化学品通过泵输送出去，经过过滤装置，将化学品供应到VMB分支阀箱，再从分支阀箱供应到工艺设备。当工艺设备达到FULL状态需液信号关闭，供液系统停止供应。
2.供液系统
在集成电路芯片和液晶显示器生产的行业中,生产工艺需要的各种无机化学品药液(主要包括各类酸、碱、盐等)需要通过管通输送到工艺设备，这些化学品药液中具有强腐蚀性、易燃性、易爆性和剧毒性等危害，为防止化学品管道的输送过程对人、设备造成伤害以及对环境造成的污染，保证电子工业厂房化学品管道安全有效的输送，要求此类管采用双套管的施工方法，而传统的双套管施工工艺是透明PVC管内穿PP管或PVDF管的硬管施工方法.
JSLAB工艺采用了适明PVC管内穿PFA软管的施工方法，即管道系统包括内外管两层管道:内管采用四氟乙烯与全氟烃基乙烯醚的共聚物的软质管道(分PFA/PVDF/ECTFE等系列)，内管为输送化学品的管道，外管采用为保护管道的透明PVC管道。辅送管道规格一股为DN10、DN20、DN25、DN50(1/4〞、3/4〞、1〞、2〞)的焊接型PFA管材及其管件，管道、管件均通过专用PFA焊接机进行焊接，与设备连接通常为法兰连接。
系统组成:
系统一般由设于化学品间外墙的接收装置、化学品间内的化学品接收储罐、供给装置、化学品供给管路组成。
A.化学品接收装置，设置在化学品间内，外墙设有接收窗，直接将室外化学品槽车的化学品接收，并注入药品储罐内；
B.标准化学品接收储罐，置于化学品间地下基础之上，储存化学品。
C.化学品供给装置，置于化学品间内，向使用设备供应化学品;
D.化学品供给管路，自接收装置至化学品储罐，再由化学品储罐至化学品供给装置，由外套管及内管组成，外管均为透明PVC管，内管焊接型PF管及PFA弯头组成，这类管道一般用于收装置至化学品接收储罐至供给装置的管路。
